全自動影像測量儀VMA系列,它是影像測量技術的高級階段,具有高度智能化與自動化特點。其軟硬件性能讓坐標尺寸測量變得便捷而愜意,擁有基于機器視覺與過程控制的自動學習功能,依托數(shù)字化儀器高速而精準的微米級走位,可將測量過程的路徑,對焦、選點、功能切換、人工修正、燈光匹配等操作過程自學并記憶。全自動影像測量儀可以輕松學會操作員的所有實操過程,結合其自動對焦和區(qū)域搜尋、目標鎖定、邊緣提取、理匹選點的模糊運算實現(xiàn)人工智能,可自動修正由工件差異和走位差別導致的偏移實現(xiàn)精確選點,具有高精度重復性。從而使操作人員從疲勞的精確目視對位,頻繁選點、重復走位、功能切換等單調(diào)操作和日益繁重的待測任務中解脫出來,成百倍地提高工件批測效率,滿足工業(yè)抽檢與大批量檢測需要。
二、產(chǎn)品應用領域:
本公司產(chǎn)品被廣泛用于液晶面板、導電粒子、PCB板、TP、TFT、手機配件、精密模具、刀具、齒輪、五金產(chǎn)品、端子、螺絲、彈簧、電子產(chǎn)品、連接器、鐘表、電線、沖壓產(chǎn)品、塑膠產(chǎn)品、汽車配件、醫(yī)療器械、航天航空、高等院校、科研院所等領域。
三、產(chǎn)品優(yōu)點:
1.裝配上下兩個可調(diào)的光源系統(tǒng),不僅觀測到工件輪廓,而且對于不透明的工件的表面形狀也可以測量。本系統(tǒng)采用41路程控光源,上光源40路,可以根據(jù)不同的產(chǎn)品,不同的角度進行調(diào)節(jié),多區(qū)域,多路控制,滿足客戶的最大需求;下光源為平行光路設計,可調(diào)節(jié)光,亮度。
2.使用冷光源系統(tǒng),可以避免容易變形的工件在測量中因為熱而變形所產(chǎn)生的誤差。同時對各種顏色的零件對光的反射吸收后,對光的需要不同可通過光源的程序調(diào)節(jié)變化實現(xiàn)最佳效果,對測量的精度穩(wěn)定起到保障作用。
3.軟件具備建立多重坐標功能,工件可以隨意放置。
4.測量控制:通過軟件和鼠標操作,人性化設計。
5.Z向帶光柵尺,通過影像測高軟件,可實現(xiàn)平面度、翹曲度等測量功能。
四、產(chǎn)品規(guī)格參數(shù):
項目 | 主要技術參數(shù) | ||
儀器型號 | VMA-3020CNC | VMA-4030CNC | VMA-5040CNC |
測量范圍(mm) | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
光學尺解析度 | 0.001mm | ||
測量精度 | X.Y Axis:(2.4+L/200)μm | ||
重復精度 | 3μm | ||
伺服電機 | 200W國產(chǎn)伺服電機 | ||
測量軟件 | YR-CNC | ||
鏡頭 | 0.75-4.5X高清晰度變焦倍率鏡頭 | ||
CCD | 43萬像素高清晰彩色攝像頭 | ||
放大倍率 | 34~220X | ||
表面光源 | 5環(huán)40區(qū) | ||
輪廓底光 | 5W超大LED平行光路設計無極連續(xù)可調(diào)LED光源 | ||
傳動方式 | 臺灣制滾珠絲桿及導軌 | ||
操作方式 | 程序控制+搖桿 | ||
工作限重 | 35KG | ||
機器重量 | 440KG | 520KG | 600KG |
全自動光學影像測量儀VMA系列源興非標定制五、產(chǎn)品部件介紹:
成像部分
1、本成像部分使用光源加導航變焦鏡頭加雙相機組成。光源為五環(huán)四十LED表面冷光源,輪廓點光源。
2、四十區(qū)發(fā)光,可以單獨點亮,也可以任意兩個或多個區(qū)組合點亮,并把亮度分成255級。(備注,標配為白色,可選配RGB加白色共四色燈泡來應對特殊產(chǎn)品測量)。
3、下光源平行光路設計貼片式大功率LED燈。也可以255級調(diào)節(jié)亮。
4、此鏡頭由兩部分組成,一部分為光學測量鏡頭,一部分為導航拍攝地圖的鏡頭(此處用于測量工件過大,不便于定位的情況。可根據(jù)導航鏡頭來找到自己要測量的點)。
工作臺部分
1、本工作臺部分由移動平臺,線性導軌,滾珠絲桿加上伺服馬達驅(qū)動,金屬光柵計數(shù)尺組成。
2、平臺是由高強度航空鋁7075材料組成,以防止機器在運行時,移動平臺產(chǎn)生形變。
3、導軌為臺灣精密級線型導軌,以保證儀器的運行精度,絲桿為C3級絲桿,以保證儀器的重復性。
4、計數(shù)尺為英國雷尼紹直線光柵,該計數(shù)尺具有零機械滯后的優(yōu)異計量性能。該尺獨創(chuàng)的光學濾波系統(tǒng)具有極強的抗污能力。由于計數(shù)讀數(shù)頭與金屬刻度尺零點無接觸,這樣大大延長了計數(shù)尺的穩(wěn)定性與壽命。
六、產(chǎn)品軟件YR-CNC功能:
1、測量功能齊全:能直接測量12種2D元素(點、線、圓、弧、矩形、槽形、環(huán)形、開曲線、閉曲線、圓柱、圓錐、球、平面)能測量曲線的周長、面積、直徑等,采用NURBS曲線擬合算法,比其他曲線擬合算法更接近真實數(shù)據(jù)可以通過影像測量三維元素。
測量方法多樣,共有自動尋邊,分段自動尋邊、鼠標屏幕直接取點、十字線取點、臨近采點、對比、采尖點、輪廓采點、探針點、激光采點燈方法。
2、超強尋邊算法,確保采樣點精確度,及采樣穩(wěn)定。
3、自動像素校正,無需頻繁移動,一鍵可自動像素校正。
4、元素構造:元素構造功能槍法,提供多種方法,平移、旋轉、提取、組合、平行、垂直、鏡像、對稱、相交、相切構造元素,元素構造使得用戶可以輕松應付一些難以測量的元素,從而提高工作效率。構造的過程為選取參與構造的元素->選擇結果元素,簡單明了。用圖示的方式提供構造方式的選擇。
5、報表功能豐富。
6、超差紅色警示:如果測量結果超差,可以顯示哪一個元素超差,并可以顯示哪一項超差,導出的EXCEL同樣可以提示哪項超差。
7、影像窗口功能豐富:可以顯示視頻放大倍率和比例尺, 可以做簡單的距離和角度測量。
8、坐標系功能豐富
可根據(jù)實際情況建立多重坐標系,可方便自由切換各坐標系下的數(shù)據(jù),能方便實現(xiàn)直角坐標系和極坐標系之間的轉換,能實現(xiàn)各種不同坐標系的保存與呼出,能顯示不同的坐標系模式。
9、坐標系功能豐富
程序的編輯與修改非常方便可方便修改程序的光源數(shù)據(jù)、運動數(shù)據(jù)、對焦數(shù)據(jù)、程序的位置、測量的高度等數(shù)據(jù),并可用新元素替代舊有元素。
10、豐富的公差功能
提供多種尺寸和形位公差計算。并可計算二維和三維公差。例如圓度、圓柱度、直線度、平面度等形狀公差,還有位置度、平行度、垂直度、傾斜度、同心度、跳動等公差。
11、自動對焦及影像三維測量功能
軟件擁有高速高精度影響對焦功能,高倍下對焦重復性可達3um(標準器表面)可以通過對焦測量高度和平面度。
12、運動控制模式豐富
可通過操縱桿控制、軟件運動界面控制、移動對話框控制、鼠標影像區(qū)拖動、鼠標圖形區(qū)移到此處、鼠標圖像區(qū)移到此處,移到元素中心等方式控制。
13、強大的標注功能
提供多種標注類型,如距離、角度、X距離、Y距離、半徑、直徑、弧長等標注可以在標注完成后修改位置可以自動標注用戶程序運行結束后標注依然存在。
14、地圖導航功能、掃描功能及輪廓跟蹤功能
軟件提供強大的導航功能,可以通過指定起點和終點對整個地圖進行掃描,還可將外部傳感器拍攝的圖片導入進行導航掃描功能可以用于逆向功能,可以指定掃描的起點和終點,特殊設計的算法,可以過濾雜點,提高掃描的準確度和實用性輪廓跟蹤可以對開放的或封閉的圖形進行輪廓跟蹤,從而得到感興趣的輪廓?蓪喞O定掃描點數(shù),軟件自動計算掃描間距。
七、儀器維護與保養(yǎng):
1、儀器應放在清潔干燥的室內(nèi)(室溫20℃±5℃,濕度低于60%),避免光學零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運動導軌,影響儀器性能。
2、儀器使用完畢,工作面應隨時擦拭干凈,最好再罩上防塵套。
3、儀器的傳動機構及運動導軌、應定期上潤滑油,使機構運動順暢,保持良好的使用狀態(tài)。
4、工作臺玻璃及油漆表面臟了,可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈。絕不能用有機溶劑擦拭油漆表面,否則,會使油漆表面失去光澤。
5、儀器LED光源使用壽命很長,但當有燈泡燒壞時,請通知廠商,由專業(yè)人員為您更換。
6、儀器精密部件,如影像系統(tǒng)、工作臺、光學尺以及Z軸傳動機構等均需精密調(diào)校,所有調(diào)節(jié)螺絲與緊固螺絲均已固定,客戶請勿自行拆卸,如有問題請通知廠商解決。
7、軟件已對工作臺與光學尺的誤差進行了精確補償,請勿自行更改。否則,會產(chǎn)生錯誤的測量結果。
8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下,如已拔掉,則必須按標記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能,重則可能損壞系統(tǒng)。全自動光學影像測量儀VMA系列源興非標定制
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。主要技術參數(shù):◆ 測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:300x300x25◆ 視場內(nèi)測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm◆ 視場內(nèi)測量范圍:0.5um~400um;◆ 視場內(nèi)測量重復性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
u 大理石底座,高鋼性鑄鋁立柱,保證具有高的穩(wěn)定性及剛性。
u 精密V型導軌和研磨滾珠螺桿,配松 下高性能伺服馬達全閉環(huán)控制,高穩(wěn)定性、高精度、速度快。
u 美國TEO高分辨率600線彩色攝像機,保證擁有高品質(zhì)的測量畫面.
u 自動變倍鏡頭,改變倍率后不需要重新選取比例尺。
u 可程控三環(huán)八區(qū)LED表面冷光源、直軸輪廓冷光源,使光源對測量要求的適性更加強大。
u 精密光學尺0.0005mm。
u 自主研發(fā)功能強大的全自動3D測量軟件,可全自動測量。
u 可選配英國Renishaw接觸式探頭或日本基恩士激測頭。
硬件
1) 采用大理石底座,立柱,精密機械工作臺面,穩(wěn)定性好,結構剛性強;
2) 三層工作臺結構,增強機械穩(wěn)定性,保證X、Y水平運動精度;
3) 工作臺X、Y向垂直度高,保證坐標測量精度,即使工件沒有擺正也可達到很高的測量精度;
4) 單軸線性補償精度達3+L/200,非線性補償達3+L/250;
5) LED表面光源和輪廓光,滿足各種不同表面的照明要求;
6) 一體式機臺支架,使操作更加方便,符合人體工學;
7) 提供12個月的超長保修期,終身維護,一經(jīng)選用再無后顧之憂。
軟件
ü 軟件有類似EXCEL報表功能,測量數(shù)據(jù)可與EXCEL數(shù)據(jù)無縫連接。
ü 根據(jù)報表數(shù)據(jù)可以直接進行SPC數(shù)據(jù)分析,計算Ca,Cp,Cpk,Max,Min,Range,Avg,Std等關鍵參數(shù)。
ü 自動輸出公差并能給以顏色、聲音、標識報警,特別的是可進行產(chǎn)品實時尺寸跟蹤。
ü 在影像測量行業(yè)次引入了亞像素測量功能,對測量者沒有任何業(yè)要求。相對同行產(chǎn)品,為使用者節(jié)省至少3/5的測量
ü
ü 時間,大的提升了測量效率。
ü 可做圖元復制,平移、旋轉、鏡像、線段延伸、剪切、兩線相切弧、點圓相切線。
ü 可做垂直,水平、直徑、半徑,角度等標注;可測兩點距離,點到線距離,線到圓距離,兩圓距離,線的中心距離等;
ü 可做形位差測量,如:平行度,真圓度,直線度等;
ü 可以測量各種復雜圖形包括曲線。
ü 強大的拍地圖功能,可實現(xiàn)虛擬測量。
標準功能
Ø 可將產(chǎn)品拍成產(chǎn)品照片并以JPG的格式保存于電腦中形成產(chǎn)品圖庫。
Ø 并將保存于電腦中的照片打開并于實時的影像同一畫面中進行對比。
Ø 圖形可輸入到AUTOCAD成為工程圖。
Ø AUTOCAD標準工程圖可輸入實時影像中,令AUTOCAD工程圖與實際工件外形重疊進行對比,從而找出工件和工程圖的區(qū)別。
Ø 可輸入先拍照儲存的JPG圖片到實時影像中與實際工件進行重疊對比。
Ø 可以在鳥瞰圖中進行標注尺寸。
Ø 自定義圓;可按客戶需要自定標準的圓,再以標準的圓和影像中的工件做重疊對比,從而找到工件與標準圓形之間的誤差。
Ø 自定義線段;可自行定義線段的起點坐標、長度、旋轉的角度,再與影像中的工件作重疊對比,從而找到工件與標準圖形之間的誤差。
Ø 自設客戶坐標;在實時影像中的實際工件上自行設定坐標原點(0, 0),在畫面上任意點標示該點的X、Y坐標位置。
Ø 坐標標注;以自設的坐標原點(0,0)為基準,標注畫面上任意一點的坐標位置。
Ø 利。医枪δ埽粸槟渴忻嫔蠝蚀_的平面。医欠绞。
Ø 測量;可測量平面上的任何幾何尺寸(角度、直徑、半徑、點到線的距離、兩圓的偏心、兩點間距等)。
Ø 繪圖;可將實時影像中的實際工件外形進行描繪,形成完整的工程圖。